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第1679章 风暴降临6(2 / 2)

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这是个振奋人心的消息!但张汝经话锋一转,指出了现实:“不过,从工程样机到稳定可靠、良率达标、能够进入晶圆厂生产线进行大规模商业化生产的‘工业母机’,中间还有大量的工艺磨合、可靠性验证和持续优化工作要做。这个过程,乐观估计,至少还需要半年时间。”

“半年?”李焕闻言,非但没有失望,反而眼中闪过些许欣慰,低头沉思片刻,竟然说道:“那时间……反倒刚刚好。”

“刚刚好?”张汝经有些不解地看向李焕,眉头微蹙。在争分夺秒的生死关头,半年时间怎么能说“刚刚好”?不是应该越短越好吗?

李焕当即向张汝经详细透露了刚才与梁孟松会面商谈的结果,特别是那个“用DUV光刻机加多重曝光等极限工艺,强行逼近先进制程”的疯狂计划。

“梁博士那边想要攻克这套前所未有的复杂工艺,从理论推演到实验室验证,再到生产线上的工艺整合与良率爬升,本身就需要一段不短的时间,可能也需要数月甚至更长。”

李焕分析道,“这半年,刚好可以让我们国产的DUV光刻机完成最后的商业化冲刺,实现从‘实验室作品’到‘产线武器’的蜕变。 时间线上,可以衔接。”

他接着提出了此行的核心请求之一:“张老,我们这次过来,除了同步信息,更重要的是想和您商量:能否在我们国产的DUV光刻机设计和后续优化中,就提前考虑并针对性加强其应对‘多重曝光’等超复杂工艺的需求?”

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“ 比如,在套刻精度(overlay)、产率(throughput)优化、以及对特殊材料和工艺的兼容性上,进行一些前瞻性的设计和改造?”

“让它不仅是一台能用的DUV光刻机,更是一台为‘极限工艺’而生的‘特制武器’?”

张汝经闻言,眉头紧紧锁起,陷入了技术层面的深度思考。

作为中芯国际的创始元老之一,他太了解芯片制造的复杂性与精度要求了。

他缓缓说道:“从理论原理上讲,用DUV光刻机通过多重曝光等技术去冲击更小线宽,确实是半导体发展史上曾出现过的一种技术路径。”

“但正如梁博士所言,这条路会将工艺流程变得极其复杂和脆弱,对光刻机本身的稳定性、精度和产能都是极限考验。 ”

“即便我们的机器能满足基本要求,其带来的结果也必然是——成本会被极大地提升,生产效率会极低。”

“生死关头,再计较成本,毫无意义。” 任老在一旁,用他特有的、平静却蕴含着千钧之力的话语,淡淡地回应了一句。

“张老,所有因此产生的额外研发、改造、以及未来生产中的效率损失成本,全部由我们下游采购方——华为和橙子科技——负责承担。 我们已经和梁博士达成了共识。”李焕紧跟着给出了最实际的保障。

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